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申请/专利权人：上海米蜂激光科技有限公司
摘要：本申请提供一种真空镀膜机电子枪控制方法及系统、镀膜监控系统，应用于真空镀膜枪技术领域，其中，采集电子枪在靶材上的光斑图像；获取光斑图像中的连通域，并使用形态学运算对连通域进行形态学梯度处理，得到光斑的实际轮廓大小；根据光斑的实际轮廓大小获取轮廓点集合，并根据轮廓点集合拟合得到光斑的拟合质心；将光斑的实际轮廓大小与光斑的理论轮廓大小比较，以及将光斑的拟合质心与光斑的理论质心比较，得到偏差结果；根据偏差结果调整电子枪的控制参数。本申请可以快速准确地调整电子枪的质心位置和轮廓大小，保证电子枪的位置和角度与目标表面保持一致，提高镀膜过程的自动化程度，提高生产效率、镀膜精度和质量。
主权项：1.一种真空镀膜机电子枪控制方法，其特征在于，包括如下步骤：采集电子枪在靶材上的光斑图像；获取光斑图像中的连通域，并使用形态学运算对连通域进行形态学梯度处理，得到光斑的实际轮廓大小；根据光斑的实际轮廓大小获取轮廓点集合，并根据轮廓点集合拟合得到光斑的拟合质心；将光斑的实际轮廓大小与光斑的理论轮廓大小比较，以及将光斑的拟合质心与光斑的理论质心比较，得到偏差结果；根据偏差结果调整电子枪的控制参数，以调整电子枪在靶材上光斑的大小和位置；在采集电子枪在靶材上的光斑图像中，连续采集多张电子枪在靶材上的光斑图像；在获取光斑图像中的连通域中，根据连续采集的多张光斑图像得到含有光斑的图像序列，并根据含有光斑的图像序列获取光斑图像中的连通域；针对图像序列中的光斑图像，提取像素点在垂直和水平方向的梯度值，并根据像素点梯度值的平方和判断该光斑图像是否能够参与连通域获取；其中，像素点梯度值的平方和按下式计算： 其中，是像素点处的梯度，表示图像横轴坐标，表示图像纵轴坐标；表示光斑图像的图像清晰度和图像锐度；为预设的梯度灵敏度。
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权利要求：
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