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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：提供一种晶片检测设备和晶片检测方法。晶片检测设备包括光学模组、用于承载多个晶片的至少一个晶片固持器以及多个光学传感器。光学模组被配置成发射多个光束以用于同时扫描由至少一个晶片固持器所承载的多个晶片。多个光学传感器被配置成接收被所述多个晶片反射的多个光束。
主权项：1.一种晶片检测设备，包括：光源，被配置成发射光；第一分光元件，被配置成将来自所述光源的所述光分成第一光束和第二光束；第一晶片固持器，包括用于承载第一晶片的第一晶片载物台和用于承载第二晶片的第二晶片载物台，其中所述第一晶片被配置成反射所述第一光束，且所述第二晶片被配置成反射所述第二光束；第一光学传感器，被配置成接收被所述第一晶片载物台所承载的所述第一晶片反射的所述第一光束；以及第二光学传感器，被配置成接收被所述第二晶片载物台所承载的所述第二晶片反射的所述第二光束，其中所述第一晶片载物台与所述第二晶片载物台配置在所述第一分光元件的相对两侧。
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权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 晶片检测设备和晶片检测方法
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