龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：纳米瑞典公司
摘要：一种清洗水供应设备50，包括超纯水生产单元54、供应管道52、操作控制器53以及超纯水推动设备55。该供应管道52的第一端连接到该超纯水生产单元54的输出端。该供应管道的第二端适于连接到半导体清洗装置。该操作控制器53被配置为控制该超纯水生产单元54按需生产预定量的超纯水。该超纯水推动设备55能接入惰性气体源，并且被配置为在输送该预定量的超纯水之后用惰性气体冲洗掉该供应管道52的水。还披露了一种半导体清洗系统、一种半导体生产系统以及一种用于供应清洗水的方法。
主权项：1.一种清洗水供应设备50，包括：-超纯水生产单元54；以及-供应管道52，该供应管道的第一端连接到所述超纯水生产单元54的输出端；其中，所述供应管道的第二端适于连接到半导体清洗装置40，其特征在于，-用于所述超纯水生产单元54的操作控制器53；其中，所述操作控制器53被配置为控制所述超纯水生产单元54按需生产预定量的超纯水；以及-超纯水推动设备55，该超纯水推动设备能接入惰性气体源；其中，超纯水推动设备55被配置为在通过所述供应管道52输送所述预定量的超纯水之后用所述惰性气体冲洗掉所述供应管道52的水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纳米瑞典公司 用于半导体制造的方法和设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号