龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东省科学院微生物研究所(广东省微生物分析检测中心)
摘要：本发明公开了一种自供电异质结深紫外光电探测器及其制备方法。所述的探测器从下而上依次为基板、ε相Ga2O3薄膜、ZnO薄膜光敏层、顶电极和侧电极，其中，顶电极形成在光敏层上，侧电极形成在所述光敏层之外的ε相Ga2O3薄膜上，当侧电极形成在所述光敏层之外的ε相Ga2O3薄上时，光敏层与ε相Ga2O3薄膜之间形成异质结。该光电探测器的ε相Ga2O3薄膜与光敏层形成的异质结对深紫外光具有很高的选择性，并且在无电压施加的情况下，器件仍然有稳定的深紫外光探测能力。
主权项：1.一种自供电ε相Ga2O3ZnO薄膜异质结深紫外光电探测器，其特征在于，所述的探测器从下而上依次为基板、ε相Ga2O3薄膜、光敏层、顶电极和侧电极，其中，顶电极形成在光敏层上，侧电极形成在所述光敏层之外的ε相Ga2O3薄膜上，光敏层与ε相Ga2O3薄膜之间形成异质结；所述的光敏层为ZnO薄膜，所述的ZnO薄膜的厚度为40～100nm；所述的ε相Ga2O3薄膜的厚度为300nm；所述的顶电极和侧电极为TiAu双层结构的金属电极，其中Ti的厚度为50nm，Au的厚度为100nm；所述的顶电极和侧电极的边长为1mm，间距为1mm，有效照明面积为1mm2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东省科学院微生物研究所(广东省微生物分析检测中心) 一种自供电异质结深紫外光电探测器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号