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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文中公开了一种用于在检查站中装载基板的方法和设备。在一个实施方式中，提供了一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：第一输送机模块；以及第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为从所述可移动表面释放所述基板。
主权项：1.一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：第一输送机模块；以及第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元而所述第二区段不包括所述真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为在落下位置中从所述可移动表面释放所述基板，使得所述基板受重力影响落下到所述第二输送机模块的所述可移动表面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 真空输送机基板装载模块
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