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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种用于在化学机械研磨系统中对承载头或基板进行蒸气处理的设备，该设备包括装载罩、基座、锅炉、一个或多个喷嘴以及供应管线，该基座在由该装载罩所界定的腔中，该基座配置成从承载头接收基板或将该基板供应到该承载头，该锅炉用于产生蒸气，该一个或多个喷嘴定位成将蒸气向内引导到由该装载罩所界定的该腔中，该供应管线从该锅炉延伸到该一个或多个喷嘴，以将蒸气供应到该一个或多个喷嘴。
主权项：1.一种用于在化学机械研磨系统中对承载头或基板进行蒸气处理的设备，包括：装载罩；基座，所述基座在由所述装载罩所界定的腔中，所述基座配置成从承载头接收基板或将所述基板供应到所述承载头；锅炉，所述锅炉用于产生蒸气；一个或多个喷嘴，所述一个或多个喷嘴定位成将蒸气向内引导到由所述装载罩所界定的所述腔中，以清洁和预热所述承载头和或基板；以及供应管线，所述供应管线从所述锅炉延伸到所述一个或多个喷嘴，以将蒸气供应到所述一个或多个喷嘴。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于化学机械研磨系统的蒸气处理站
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