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中转装置及烘干设备 

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申请/专利权人:无锡先导智能装备股份有限公司

摘要:本申请公开了一种中转装置,其包括设置于处理箱内的、能够自下而上输送基板的第一传送机构以及能够自上而下输送基板第二传送机构;由此,基板在处理箱内能够经由第一传送机构和第二传送机构进行两次传送;一方面,通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递,能够延长基板在处理箱内的停留时间,另一方面,通过第一传送机构和第二传送机构的反向传递,能够使得基板回到上料的底部或者顶部,方便基板进出。本申请还提供了一种烘干设备,其包括上述中转装置,通过加热组件能够对处理箱内进行加热;通过第一抽气组件,能够对处理箱内进行抽气,进而加速处理箱内气流流通;由此,提高烘干效率,并保证处理箱内温度稳定、确保烘干效果。

主权项:1.一种中转装置,其特征在于,包括:第一传送机构(10),能够自下而上输送基板(1);第二传送机构(20),能够自上而下输送基板(1);转移机构(30),能够自所述第一传送机构(10)接取基板(1)、并将所述基板(1)转移到所述第二传送机构(20)中;或者,能够自所述第二传送机构(20)接取基板(1)、并将所述基板(1)转移到所述第一传送机构(10)中;处理箱(40),所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)设于所述处理箱(40)内;其中,通过所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)的两次传递,能够延长基板(1)在所述处理箱(40)内的停留时间;所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)并排设置或相对设置;所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)采用至少一组链式传送机构;所述链式传送机构包括:主动齿轮(11)、从动齿轮(12)以及套设在所述主动齿轮(11)和所述从动齿轮(12)上的链条(13);所述链条(13)外侧间隔设置有多个能够承接基板(1)的承托件(15);其中,所述主动齿轮(11)由主动驱动件(14)驱动、通过所述链条(13)、能够带动所述从动齿轮(12)旋转,进而使得所述链条(13)循环流转;基板(1)进入所述链式传送机构后,能被所述承托件(15)承接,进而跟随所述链条(13)进行流转。

全文数据:

权利要求:

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