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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

摘要：本发明提供一种半导体晶棒滚磨机滚磨方法，涉及晶棒滚磨加工技术领域，通过自动滚磨机对晶棒进行加工，将晶棒放置在转运承载装置上，以使晶棒的中心线与夹头的中心线位于同一水平面，再测量晶棒的长度，晶棒长度测量完成后，夹头根据晶棒的长度夹持晶棒，不用再预先在晶棒两端画圆，夹头能准确进行夹持，不会存在倾斜状态，影响后续参考面的加工；然后再测量晶棒的直径；晶棒直径测量完成后，滚磨机计算磨削量，根据得到的磨削量进行晶棒外圆滚磨加工，得到滚磨晶棒；对滚磨晶棒进行参考面测量、加工，计算参考面宽幅，加工准确。

主权项：1.一种半导体晶棒滚磨机滚磨方法，其特征在于：通过自动滚磨机对晶棒进行加工，所述自动滚磨机包括转运承载装置、夹头，包括以下步骤，S1：将晶棒放置在转运承载装置上，以使晶棒的中心线与夹头的中心线位于同一水平面；S2：测量晶棒的长度；S3：晶棒长度测量完成后，夹头根据晶棒的长度夹持晶棒，测量晶棒的直径；S4：晶棒直径测量完成后，滚磨机计算磨削量，根据得到的磨削量进行晶棒外圆滚磨加工，得到滚磨晶棒；S5：对滚磨晶棒进行参考面测量、加工，计算参考面宽幅；所述转运承载装置包括：升降组件、夹持组件，所述升降组件与所述夹持组件连接，所述升降组件带动所述夹持组件在垂直方向上上下运动，所述夹持组件能够夹持不同尺寸的晶棒，且不会发生倾斜，便于夹头夹持晶棒；所述升降组件包括：支撑竖板、第一驱动电机、第一丝杆，所述第一驱动电机安装在所述支撑竖板的上部，所述第一驱动电机与所述第一丝杆的一端连接，所述第一丝杆与所述夹持组件螺纹连接，所述第一丝杆的另一端与所述支撑竖板的另一端转动连接，所述第一驱动电机驱动所述第一丝杆转动，所述第一丝杆带动所述夹持组件在竖直方向上上下运动；所述夹持组件包括：支撑座、支撑部、夹持部，所述夹持部包括水平移动板、第二驱动电机、第二丝杆、第一夹持斜板、第二夹持斜板，所述水平移动板中部沿长度方向开设长槽，所述支撑座位于所述支撑竖板的侧面，所述夹持部、支撑部位于所述支撑座的侧面，所述水平移动板位于所述支撑部的上方，所述第二丝杆位于所述水平移动板的长槽内，所述第一夹持斜板、第二夹持斜板与所述水平移动板相互垂直，所述第一夹持斜板、第二夹持斜板位于所述水平移动板的两端，所述支撑座与所述第一丝杆螺纹连接，所述支撑座与所述支撑部连接，所述支撑部与所述水平移动板连接，所述水平移动板的一端与所述第一夹持斜板固定连接，所述第二丝杆的一端与所述第二驱动电机连接，所述第二丝杆与所述第二夹持斜板螺纹连接，所述第二丝杆的另一端与所述水平移动板的另一端转动连接，以使第一夹持斜板、第二夹持斜板之间的距离能够进行调整；所述支撑部包括固定板、第三驱动电机、第三丝杆、滑块，所述固定板中部沿长度方向开设长槽，所述滑块位于所述固定板的长槽内，所述第三丝杆穿过所述滑块位于所述固定板的长槽内，所述第三驱动电机与所述第三丝杆的一端连接，所述第三丝杆与所述滑块螺纹连接，所述第三丝杆的另一端与所述固定板的另一端转动连接，所述滑块与所述水平移动板的底部固定连接，以驱动所述水平移动板水平移动，以使晶棒位于夹头内；所述自动滚磨机还包括门型架、导轨，所述导轨位于所述门型架内，所述导轨与所述门型架连接，所述夹头与所述导轨连接，以使所述夹头能够水平运动。

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