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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了一种用于旋转二次曲面的二维相干梯度敏感测量装置，包括固定底板基座，固定底板基座上设置有激光调制组件，激光调制组件尾端沿激光射出方向依次设置有分光棱镜和待测二次曲面，分光棱镜可反射待测二次曲面反射光设置；平行分光棱镜反射待测二次曲面反射光的反射面设置有平面反射镜，沿平面反射镜反射光路设置有Ronchi正交透射光栅组，Ronchi正交透射光栅组中间夹设有双向相移棱镜组，沿光路方向在Ronchi正交透射光栅组后方设置有滤波透镜；沿光路方向在滤波透镜后方设置有图像采集处理系统。本发明能够精确有效地实现旋转抛物曲面变形的双方向测量，测量过程操作简单，并进一步扩展了相干梯度敏感干涉仪的使用范围。
主权项：1.一种用于旋转二次曲面的二维相干梯度敏感测量装置，其特征在于，包括固定底板基座，所述固定底板基座上设置有激光调制组件，激光调制组件尾端沿激光射出方向依次设置有分光棱镜和待测二次曲面，所述分光棱镜可反射所述待测二次曲面反射光设置；平行所述分光棱镜反射所述待测二次曲面反射光的反射面设置有平面反射镜，沿平面反射镜反射光路设置有Ronchi正交透射光栅组，所述Ronchi正交透射光栅组中间夹设有双向相移棱镜组，沿光路方向在所述Ronchi正交透射光栅组后方设置有滤波透镜；沿光路方向在所述滤波透镜后方设置有图像采集处理系统；其特征在于，所述激光调制组件包括设置于所述固定底板基座上的激光器支架，所述激光器支架上固定设置有用于提供激光光源的单纵模激光器，沿所述单纵模激光器的激光光路依次设置有扩束凸透镜以及曲面补偿装置，所述曲面补偿装置包括前准直凸透镜和后准直凸透镜；所述固定底板基座上沿激光光路方向设置有第一滑轨，所述第一滑轨上沿光路方向依次滑移设置有第一滑块、第二滑块以及第三滑块，所述第一滑块上设置有扩束凸透镜支架，所述扩束凸透镜固定设置于所述扩束凸透镜支架顶端，所述第二滑块上设置有前准直透镜支架，所述前准直凸透镜固定设置于所述前准直透镜支架上，所述第三滑块上设置有后准直凸透镜支架，所述后准直凸透镜固定设置于所述后准直凸透镜支架上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 一种用于旋转二次曲面的二维相干梯度敏感测量装置
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