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申请/专利权人：株式会社爱发科
摘要：本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元Rc用的驱动块DB设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶Tg；以及插入该靶内的内筒体35；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管4，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部62，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部811；以及与电源电路连接的供电部931，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
主权项：1.一种旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：设置在旋转式阴极单元的靶的轴线方向前端，并绕轴线可自由旋转地支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶；以及插入该靶内并限定出与真空气氛隔绝的内部空间的内筒体；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部，内筒体具有封闭其轴线方向前端的壁面，供电装置具备机械分离的且可进行非接触方式的供电的：与所述部件连接的受电部；以及与电源电路连接的供电部，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部；在中空管的周围，设置有对设置在靶的内侧的冷媒循环通道中供给冷却水、排出冷却水的通道，中空管内呈大气气氛，设置有可在内筒体和中空管之间通气的通气通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社爱发科 旋转式阴极单元用的驱动块
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