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申请/专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司
摘要：本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种调节声速的体声波谐振器、制备方法及声学滤波器，该谐振器包括：声速调节层，其具有至少两个围绕声反射镜边缘设置的声速调节结构组，每个声速调节结构组均包括多个间隔设置的声速调节块，声速调节层在俯视方向上的投影的外边界不超出声反射镜在俯视方向上的投影的外边界；相邻的声速调节结构组中的声速调节块相接或相邻的声速调节结构组的中心线的间距小于等于所述声速调节块的宽度且大于等于所述声速调节块的宽度的一半；该谐振器能够有效地解决由于体声波谐振器会产生RL模态，该RL模态中的能量被泄漏而导致无法通过减少RL模态的能量泄漏的方式提高体声波谐振器的性能的问题。
主权项：1.一种调节声速的体声波谐振器，其特征在于，所述调节声速的体声波谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、底电极、压电层和顶电极，所述底电极下方设有声反射镜；声速调节层，与所述顶电极连接，其具有至少两个围绕所述声反射镜边缘设置且内外分布的声速调节结构组，每个所述声速调节结构组均包括多个间隔设置的声速调节块，所述声速调节层在俯视方向上的投影的外边界不超出所述声反射镜在俯视方向上的投影的外边界；在相邻的声速调节结构组中的声速调节块对齐设置时，相邻的声速调节结构组中的声速调节块相接，在相邻的声速调节结构组中的声速调节块错位设置时，相邻的声速调节结构组的中心线的间距小于等于所述声速调节块的宽度且大于等于所述声速调节块的宽度的一半。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州市艾佛光通科技有限公司 一种调节声速的体声波谐振器、制备方法及声学滤波器
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