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一种高稳定性石英舟衬底固定结构 

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申请/专利权人:扬州美和光电科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种高稳定性石英舟衬底固定结构,涉及工装夹具技术领域,包括夹持结构,夹持结构包括垫板,立板上方设有气缸,气缸一侧设有推杆,固定块一侧设有连接件,连接件上靠近固定块的上方设有固定栓,连接件上远离固定栓的下方设有支撑件,连接件上远离气缸的一侧设有导向件,导向件上设有立杆,立杆远离气缸的一侧设上夹头,垫板靠近上夹头的一侧开设有滑槽,滑槽内设有滑块,滑块远离垫板的一侧设有下夹头,下夹头内设有双螺纹丝杆,通过气缸驱动推杆进行水平直线运动,推杆推动固定块,固定块带动连接件以支撑件的上方为中心做圆周运动,进而连接件带动导向件一侧设有的上夹头在立杆一侧做升降运动。

主权项:1.一种高稳定性石英舟衬底固定结构,包括夹持结构1,其特征在于:所述夹持结构1包括垫板11,垫板11上方设有立板12,立板12上方设有气缸121,气缸121一侧设有推杆13,推杆13远离气缸121的一侧设有固定件131,推杆13靠近固定件131的一侧设有固定块132,固定块132一侧设有连接件14,连接件14上靠近固定块132的上方设有固定栓141,连接件14上远离固定栓141的下方设有支撑件142,连接件14上远离气缸121的一侧设有导向件15,导向件15上设有立杆151,立杆151远离气缸121的一侧设上夹头152,垫板11靠近上夹头152的一侧开设有滑槽16,滑槽16内设有滑块161,滑块161远离垫板11的一侧设有下夹头17,下夹头17内设有双螺纹丝杆18,双螺纹丝杆18靠近下夹头17的一侧设有电机19,通过气缸121驱动推杆13进行水平直线运动,推杆13推动固定块132,固定块132带动连接件14以支撑件142的上方为中心做圆周运动,进而连接件14带动导向件15一侧设有的上夹头152在立杆151一侧做升降运动。

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