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一种新型的红外光纤测温仪设备 

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申请/专利权人:深圳市华芯半导体装备技术有限公司

摘要:本实用新型涉及测温设备技术领域,具体为一种新型的红外光纤测温仪设备,包括测温仪本体,测温仪本体上设置有光纤接口和信息流输出接口组件,光纤接口上插接有连接插头,光纤接口用于通过连接插头获取温度信息,测温仪本体上固定安装有L型安装架,L型安装架上开设有让位槽孔,让位槽孔与光纤接口组件水平对应,让位槽孔顶部开设有横向限位槽,横向限位槽中安装有位置可调式插拔固定组件;本实用新型能够实现同时对多台不同的半导体设备进行同时测温,提高半导体设备的测温效率,降低测温装置的成本,也能够将单个连接插头在不同的光纤接口上进行插拔,使得半导体设备能够与不同的光纤接口连接进行测温,有效提高了测温的精确性。

主权项:1.一种新型的红外光纤测温仪设备,包括测温仪本体1,所述测温仪本体1上设置有光纤接口2和信息流输出接口组件3,其特征在于:所述光纤接口2上插接有连接插头4,所述光纤接口2用于通过所述连接插头4获取温度信息,所述测温仪本体1上固定安装有L型安装架5,所述L型安装架5上开设有让位槽孔,所述让位槽孔与所述光纤接口2组件水平对应,所述让位槽孔顶部开设有横向限位槽,所述横向限位槽中安装有位置可调式插拔固定组件6,所述位置可调式插拔固定组件6用于对所述连接插头4进行固定。

全文数据:

权利要求:

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