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载具盘流转装置及其分选机 

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申请/专利权人:杭州长川科技股份有限公司

摘要:本申请涉及半导体检测技术领域,特别是涉及一种载具盘流转装置及其分选机。一种载具盘流转装置,包括流转台,设置有供料工位、第一翻转工位、第二翻转工位、卸料工位、第一检测工位以及第二检测工位;第一检测工位位于卸料工位处,沿载具盘的流转方向,第二检测工位相对位于第一检测工位的前方,且第二检测工位位于供料工位和卸料工位之间;检测机构,包括第一检测组件以及第二检测组件,第一检测组件用于在第二检测工位处对卸载芯片后的载具盘编码信息以及载具盘对应的料坑中有无芯片的检测;第二检测组件用于在第一检测工位处对卸载芯片前的卸料工位处的载具盘进行ID信息检测。本申请能够使得每个料坑中的芯片得到正确测试。

主权项:1.一种载具盘流转装置,用于流转载具盘101,所述载具盘101用于装载芯片,其特征在于,所述载具盘流转装置包括:流转台10,设置有供料工位11、第一翻转工位12、第二翻转工位13、卸料工位14、第一检测工位15以及第二检测工位16;沿所述载具盘101的流转方向,所述供料工位11、所述第一翻转工位12、所述第二翻转工位13以及所述卸料工位14依次布设,所述供料工位11上的载具依次盘经过第一翻转工位12、第二翻转工位13、卸料工位14后能够再次回至所述供料工位11;所述第一检测工位15位于所述卸料工位14处,沿所述载具盘101的流转方向,所述第二检测工位16相对位于所述第一检测工位15的前方,且所述第二检测工位16位于所述供料工位11和所述卸料工位14之间;检测机构20,包括第一检测组件21以及第二检测组件22,所述第一检测组件21设于所述第二检测工位16处,并位于所述载具盘101的流转路径上,用于对卸载芯片后的所述载具盘101编码信息以及所述载具盘101对应的料坑中有无芯片的检测;第二检测组件22设于所述第一检测工位15处,用于对卸载芯片前的所述卸料工位14处的载具盘进行ID信息检测。

全文数据:

权利要求:

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