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一种真空吸附式制样设备 

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申请/专利权人:江苏第三代半导体研究院有限公司

摘要:本实用新型公开了一种真空吸附式制样设备,包括移栽组件、裁切件、真空吸附件、真空夹持件、真空供给组件;真空供给组件,包括主供给线路以及与主供给线路连通的至少两个分支线路,主供给线路设置有真空发生装置以及与真空发生装置连接的储压件;储压件用于存储真空发生装置产生的负压,并能够将存储的负压供给至任意一个分支线路;分支线路上设置有控制阀单元,控制阀单元用于控制分支线路的通断;一个分支线路与真空吸附件连接;又一分支线路与真空夹持件连接。本实用新型的真空吸附式制样设备,用于简化真空吸附件与真空夹持件的真空供给系统,并可瞬时为真空吸附件与真空夹持件供给所需负压。

主权项:1.一种真空吸附式制样设备,其特征在于,包括:移栽组件2;裁切件3,用于裁切目标产品100以获得样品,所述裁切件3安装于所述移栽组件2;真空吸附件4,用于吸附并移栽所述样品,所述真空吸附件4安装于所述移栽组件2;真空夹持件5,用于吸附并固定所述目标产品100;真空供给组件1,包括主供给线路11以及与所述主供给线路11连通的至少两个分支线路12,所述主供给线路11设置有真空发生装置111以及与所述真空发生装置111连接的储压件112;所述储压件112用于存储所述真空发生装置111产生的负压,并能够将存储的负压供给至任意一个所述分支线路12;所述分支线路12上设置有控制阀单元121,所述控制阀单元121用于控制所述分支线路12的通断;一个所述分支线路12与所述真空吸附件4连接;又一所述分支线路12与所述真空夹持件5连接。

全文数据:

权利要求:

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