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申请/专利权人：新疆中部合盛硅业有限公司
摘要：本申请涉及一种管式扩散设备，其包括炉管，设置于所述炉管一端的进气口，设置于所述炉管中的前置阻流件和后置阻流件，其中，所述前置阻流件为底面为正方形的长方体部件，所述前置阻流件沿气流方向设置，并使所述底面的一条对角线与气流方向一致，所述前置阻流件与后置阻流件上可调节地装载有阻流片。本申请的技术方案能够实现掺杂源气体在炉管内部的均匀扩散，有效提升扩散工艺中硅晶片的加工均匀性。
主权项：1.一种管式扩散设备，其特征在于，所述管式扩散设备包括炉管，设置于所述炉管一端的进气口，设置于所述炉管中的前置阻流件和后置阻流件，其中，所述前置阻流件为底面为正方形的长方体部件，所述前置阻流件沿气流方向设置，并使所述底面的一条对角线与气流方向一致，所述前置阻流件与后置阻流件上可调节地装载有阻流片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新疆中部合盛硅业有限公司 一种管式扩散设备
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