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一种微波加热高纯红磷掺杂装置 

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申请/专利权人:江西磐盟半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开一种微波加热高纯红磷掺杂装置,涉及红磷掺杂装置领域。该微波加热高纯红磷掺杂装置包括掺杂主体和安装在掺杂主体内部的长管,长管用于输送汽化的红磷,长管顶部的外周壁固定连接有外框,外框的顶部设置有进料口,进料口用于添加红磷,进料口的内部活动卡接有卡板,卡板的顶部固定连接有固定盖,固定盖活动卡接在外框的外周壁。该微波加热高纯红磷掺杂装置实现对加料机构的设置,使得使用者不需要将掺杂工具取出,就可以对红磷进行添加,减小了使用者添加红磷的难度,同时也减少了对红磷的浪费。

主权项:1.一种微波加热高纯红磷掺杂装置,包括掺杂主体(1)和安装在掺杂主体(1)内部的长管(3),所述长管(3)用于输送汽化的红磷,所述长管(3)顶部的外周壁固定连接有外框(304),其特征在于,所述外框(304)的顶部设置有进料口(4),所述进料口(4)用于添加红磷,所述进料口(4)的内部活动卡接有卡板(403),所述卡板(403)的顶部固定连接有固定盖(401),所述固定盖(401)活动卡接在外框(304)的外周壁。

全文数据:

权利要求:

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