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申请/专利权人：浙江创芯集成电路有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆对准装置，包括：晶圆对准装置主体；晶圆支撑模块，一部分位于晶圆对准装置主体顶面，另一部分悬空；晶圆信息读取器固定件，位于所述晶圆支撑模块悬空部分下方，且设置在所述晶圆对准装置主体侧面上。本申请实施例提供的晶圆对准装置通过将晶圆信息读取器固定件设置于所述晶圆支撑模块悬空部分下方，且设置在所述晶圆对准装置主体侧面上的方法，避免了所述晶圆对准装置长时间使用后晶圆支撑模块变形，进一步避免了所述晶圆支撑模块与晶圆对准装置主体或晶圆升降模块产生摩擦碰撞，还可以避免晶圆在支撑模块处掉落而报废。
主权项：1.一种晶圆对准装置，用于执行晶圆对准操作，其特征在于，包括：晶圆对准装置主体；晶圆支撑模块，一部分位于晶圆对准装置主体顶面，另一部分悬空；晶圆信息读取器固定件，位于所述晶圆支撑模块悬空部分下方，且设置在所述晶圆对准装置主体侧面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江创芯集成电路有限公司 一种晶圆对准装置
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