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申请/专利权人：南京宽能半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种防偏移的晶圆加工装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有底板，底板的上表面固定连接有多个支撑块，多个所述支撑块的顶部固定连接有顶板，顶板的上表面开设有多个避位口，多个所述避位口内均滑动连接有滑块，滑块的顶部固定连接有对晶圆进行夹持的夹块，所述顶板的底部转动连接有圆杆，圆杆的圆周外壁绕接有多个拉绳。本实用新型不仅能够对晶圆进行夹持定位，防止晶圆发生偏移，同时可以对不同尺寸的晶圆进行夹持，提高了加工装置的使用效果，而且能够方便工作人员拿取加工好的晶圆，提高了加工装置使用的便捷性，还能够避免夹块对晶圆的表面造成损伤导致晶圆报废，提高了加工装置对晶圆夹持的安全性。
主权项：1.一种防偏移的晶圆加工装置，包括底座1，其特征在于，所述底座1的顶部固定连接有底板2，底板2的上表面固定连接有多个支撑块4，多个所述支撑块4的顶部固定连接有顶板3，顶板3的上表面开设有多个避位口7，多个所述避位口7内均滑动连接有滑块8，滑块8的顶部固定连接有对晶圆进行夹持的夹块5，所述顶板3的底部转动连接有圆杆18，圆杆18的圆周外壁绕接有多个拉绳16，多个所述拉绳16的一端均穿过顶板3分别延伸进多个避位口7内与滑块8相固定，所述顶板3的底部设有带动圆杆18转动的驱动组件，所述顶板3的底部设有改变拉绳16方向的导向组件，多个所述避位口7内均设有使夹块5进行复位的弹性部件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京宽能半导体有限公司 一种防偏移的晶圆加工装置
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