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申请/专利权人：江苏中科晶元信息材料有限公司
摘要：本实用新型公开了砷化镓晶圆用研磨液搅拌装置，包括搅拌罐，所述搅拌罐由上罐体和下罐体上下拼接组合构成，所述上罐体的底部固定安装有隔断板，所述上罐体的底部且位于隔断板的两侧均设置有过滤板，两个所述过滤板的顶部均固定安装有拉环；所述搅拌罐内部竖直中心位置设置有搅拌桨。本实用新型通过在搅拌罐底部设置有隔断板和过滤板，过滤板的设计，可以有效过滤悬浮液中的杂质，提高了悬浮液的纯度，搅拌罐的顶部盖合安装有顶盖，中板和两个侧板组合而成，这样的设计使得搅拌罐内部易于清洁和维护，保证了研磨液的质量，该装置具有更好的搅拌效果、过滤功能、结构稳定性以及移动灵活等效果。
主权项：1.砷化镓晶圆用研磨液搅拌装置，包括搅拌罐1，其特征在于：所述搅拌罐1由上罐体11和下罐体12上下拼接组合构成，所述上罐体11的底部固定安装有隔断板5，所述上罐体11的底部且位于隔断板5的两侧均设置有过滤板6，两个所述过滤板6的顶部均固定安装有拉环7；所述搅拌罐1内部竖直中心位置设置有搅拌桨4，所述搅拌桨4由上桨体41和下桨体42两部分组合构成，所述上桨体41设置在上罐体11内，所述下桨体42设置在下罐体12内；所述搅拌罐1的顶部盖合安装有顶盖2，所述顶盖2由中板21和两个侧板22组合而成，两个所述侧板22盖合在搅拌罐1的顶部两侧，所述中板21设置于两个侧板22之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏中科晶元信息材料有限公司 砷化镓晶圆用研磨液搅拌装置
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