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申请/专利权人：广东凯迪微智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆清洗加工技术领域的一种兆声波清洗机构，包括机架，所述机架安装有溢流传导箱，所述溢流传导箱的内部安装有石英缸，溢流传导箱的底部设有兆声震动单元，所述石英缸的底部设有斜面，且石英缸的底部与溢流传导箱的内壁之间具有间距以形成溢流传导槽，石英缸的底部呈斜面设计，且石英缸的底部与溢流传导箱的内壁之间具有间距以形成溢流传导槽，而兆声震动单元设置于溢流传导箱的底部，一方面，兆声震动单元不与石英缸底部接触，因此能有效避免兆声震动单元震伤石英缸的问题，另一方面，石英缸的底部由平底改进为斜面底，能够有效改善内槽壁的循环流动性，减少颗粒沉底残留。
主权项：1.一种兆声波清洗机构，包括机架，其特征在于，所述机架安装有溢流传导箱，所述溢流传导箱的内部安装有石英缸，溢流传导箱的底部设有兆声震动单元，所述石英缸的底部设有斜面，且石英缸的底部与溢流传导箱的内壁之间具有间距以形成溢流传导槽。
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百度查询： 广东凯迪微智能装备有限公司 一种兆声波清洗机构
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