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申请/专利权人：江苏鹏利芝达恩半导体有限公司
摘要：本实用新型提供一种高低温悬臂式探针卡，涉及探针卡设备技术领域，包括探针卡主体、检测单元和夹持固定杆，所述检测单元固定连接于探针卡主体的顶部，所述夹持固定杆与探针卡主体的顶部固定连接，所述探针卡主体的一端固定连接有冷气管，所述探针卡主体的底端固定连接有导风机构，本实用新型通过设置的卡针机构，在转动转动螺栓后能带动连接架发生对向移动，从而带动插接板与悬臂探针之间脱离，此时推动悬臂探针顶部的铆接片即可实现悬臂探针整体与铆接销之间的分离操作，从而实现更换，此外插接板对若干组悬臂探针的夹持插接固定也能较好的保证悬臂探针不发生受热或受力变形的情况发生，提高探针的使用寿命。
主权项：1.一种高低温悬臂式探针卡，包括探针卡主体1、检测单元2和夹持固定杆3，其特征在于：所述检测单元2固定连接于探针卡主体1的顶部，所述夹持固定杆3与探针卡主体1的顶部固定连接，所述探针卡主体1的一端固定连接有冷气管4，所述探针卡主体1的底端固定连接有导风机构5，所述探针卡主体1底部的中间位置固定连接有卡针机构6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鹏利芝达恩半导体有限公司 一种高低温悬臂式探针卡
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