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申请/专利权人：江门市浩远电子科技有限公司
摘要：本申请提供了一种电路版图制备方法，本申请通过获取目标电路版图的目标制备参数和目标基板；根据标准化匹配库和目标制备参数，对目标电路版图进行良品率计算，得到目标良品率；然后根据目标良品率，判断目标电路版图的制程能力是否达标，得到目标达标结果，当目标达标结果为达标时，基于目标制备参数和目标基板进行电路版图制备，得到目标电路版图；当目标达标结果为非达标时，重复调整目标制备参数，直至目标达标结果为达标时，基于调整后的目标制备参数和目标基板进行电路版图制备，得到目标电路版图，进而能够基于标准化匹配库微观地调整电路版图的制程能力，以实现电路版图的标准化生产，同时提高了电路版图的产出效率，降低了生产成本。
主权项：1.一种电路版图制备方法，其特征在于，包括：获取目标电路版图的目标制备参数和目标基板；根据标准化匹配库和所述目标制备参数，对所述目标电路版图进行良品率计算，得到所述目标电路版图的目标良品率；其中，所述标准化匹配库包括多组标准化版图制备参数，各组所述标准化版图制备参数之间所制备的版图图案均为相同的版图图案；根据所述目标良品率，判断所述目标电路版图的制程能力是否达标，得到目标达标结果；当所述目标达标结果表征为达标时，基于所述目标制备参数和所述目标基板进行电路版图制备，得到所述目标电路版图；当所述目标达标结果表征为非达标时，重复调整所述目标制备参数，以及根据调整后的所述目标制备参数对目标电路版图多次进行良品率计算并判断所述目标电路版图的制程能力是否达标，直至所述目标达标结果为达标时，得到目标调整参数并基于所述目标调整参数和所述目标基板进行电路版图制备，得到所述目标电路版图。
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