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同轴嵌套激光辅助表面微结构的沉积增材制造方法及装置 

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申请/专利权人:江苏大学

摘要:本发明公开了同轴嵌套激光辅助表面微结构的沉积增材制造方法及装置,涉及特种加工技术中的微细加工领域,基板连接电源负极,阳极置于微管中连接电源正极,通过微管与基板间形成的弯月形电解液桥构成电化学回路,激光束与微管同轴从上方辐照,实心激光束辐照液桥内部待沉积区域,空心同轴激光束上下往复扫掠液桥外部弯液面。本发明同轴嵌套激光的引入,使弯液面自限域沉积减少了对环境温湿度的依赖,同时实现沉积过程的连续稳定。适用于微电子系统、增材制造和高性能集成电路等领域微纳结构的加工,以及微机械机电系统、电子、航天等微细制造等加工领域。

主权项:1.同轴嵌套激光辅助表面微结构的沉积增材制造方法,其特征在于,基板5连接电源3负极,阳极丝7置于微管6中连接电源3正极,通过微管6与基板5间形成的弯月形电解液桥构成电化学回路,激光束与微管6同轴从上方辐照,激光束包括实心激光束8和空心激光束9,其中,实心激光束8辐照弯月形电解液桥内部待沉积区域,空心激光束9上下往复扫掠弯月形电解液桥外部弯液面。

全文数据:

权利要求:

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