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检测装置及其检测方法 

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申请/专利权人:重庆金美新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种检测装置及其检测方法。检测装置用于对待测薄膜表面的形变量进行检测,检测装置包括机架、驱动机构和检测机构。驱动机构设置于机架上;检测机构设置于驱动机构上,并在驱动机构的驱动下沿第一方向往复运动,检测机构包括安装座、转轴、检测杆、检测头、压力检测元件和弹性组件,转轴设置于机架上并沿第一方向延伸,检测杆可沿转轴的长度方向移动并可绕转轴转动,压力检测元件和弹性组件设置于安装座上,弹性组件与检测杆抵接,压力检测元件用于对弹性组件所受的压力进行检测,检测头设置于检测杆远离安装座的一端并与待测薄膜的表面接触。本发明可以解决现有技术中的水平检测仪器无法对膜材表面的变形进行检测的问题。

主权项:1.一种检测装置,用于对待测薄膜70表面的形变量进行检测,其特征在于,包括:机架10,所述机架10具有空腔101,所述空腔101至少用于安装承载所述待测薄膜70的承载组件80;驱动机构20,所述驱动机构20设置于所述机架10上;检测机构30,所述检测机构30设置于所述驱动机构20上,并在所述驱动机构20的驱动下沿第一方向往复运动,所述检测机构30包括安装座31、转轴32、检测杆33、检测头34、压力检测元件35和弹性组件36,所述转轴32设置于所述机架10上并沿所述第一方向延伸,所述检测杆33可沿所述转轴32的长度方向移动并可绕所述转轴32转动,所述压力检测元件35和所述弹性组件36设置于所述安装座31上,所述弹性组件36与所述检测杆33抵接,所述压力检测元件35用于对所述弹性组件36所受的压力进行检测,所述检测头34设置于所述检测杆33远离所述安装座31的一端并与所述待测薄膜70的表面接触。

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