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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：提供一种光学式位移计，即使在限定图像传感器的读取区域的情况下，也能够在投光受光系统的所有旋转角度下都进行位移的测定。光学式位移计1具备：投光部，其照射沿X方向延展的狭缝光；图像传感器，其接收通过受光透镜被会聚后的光；投光受光模块，其将投光部、受光透镜以及图像传感器一体地保持；马达，其使投光受光模块旋转；控制部，其控制马达，来使投光受光模块进行旋转，从而使狭缝光在与X方向正交的方向上进行扫描；以及运算部，其在扫描方向上的不同位置处分别基于从图像传感器读取出的像素信号生成表示Z方向上的高度的截面轮廓。运算部构成为能够使作为读取图像传感器的像素信号的对象的局部区域与旋转角度相应地变化。
主权项：1.一种光学式位移计，是基于三角测距的原理对在Z方向上具有高度的工件的截面轮廓进行测定的光切式的光学式位移计，其特征在于，具备：投光部，其向所述工件照射沿X方向延展的狭缝光；受光透镜，其使被所述工件反射而得到的反射光会聚；摄像部，其具有图像传感器和摄像控制部，所述图像传感器接收通过所述受光透镜被会聚后的反射光，所述摄像控制部对该图像传感器进行控制；马达，其使具有所述投光部、所述受光透镜以及所述摄像部的投光受光模块一体地旋转；控制部，其控制所述马达，来使所述狭缝光在与所述X方向正交的方向上进行扫描；以及信号处理部，其基于由所述图像传感器接收到的受光量，来生成所述马达的各旋转角度下的所述截面轮廓，其中，通过所述投光受光模块的旋转，形成以该投光受光模块的旋转轴为中心且具有规定的深度的大致圆弧状的可测定范围，所述摄像控制部与根据所述各旋转角度而不同的测定范围对应地，使用于读取所述图像传感器的受光量的局部区域与该各旋转角度相应地动态地变化。
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