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光学式位移计 

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申请/专利权人:株式会社基恩士

摘要:本发明提供一种光学式位移计。抑制因微振磨损产生的影响。光学式位移计具备:投光受光模块,其具有照射沿X方向延展的狭缝光的投光部、使来自工件的反射光会聚的受光透镜、以及接收通过受光透镜被会聚后的光的摄像部;马达,其使投光受光模块一体地旋转;轴承,其支承投光受光模块的旋转轴;以及控制部,其控制马达,来使投光受光模块在测定对象的第一角度范围旋转,从而使狭缝光在与X方向正交的方向上进行扫描。轴承通过马达的旋转而与投光受光模块一起旋转至比第一角度范围靠外侧的、测定对象外的第二角度范围。

主权项:1.一种光学式位移计,具备:投光受光模块,其具有照射沿X方向延展的狭缝光的投光部、使来自工件的反射光会聚的受光透镜、以及接收通过所述受光透镜被会聚后的光的摄像部;马达,其使所述投光受光模块一体地旋转;轴承,其支承所述投光受光模块的旋转轴;以及控制部,其控制所述马达,来使所述投光受光模块在测定对象的第一角度范围旋转,从而使所述狭缝光在与所述X方向正交的方向上进行扫描,其中,所述轴承通过所述马达而与所述投光受光模块一起旋转至比所述第一角度范围靠外侧的、测定对象外的第二角度范围。

全文数据:

权利要求:

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