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申请/专利权人：北京智创芯源科技有限公司
摘要：本发明涉及一种微杜瓦激活系统及激活方法，涉及红外探测器技术领域。本申请实施例通过设置信号采集单元能够采集微杜瓦内的芯片的温度及所述微杜瓦的真空度；通过设置冷却单元能冷却所述微杜瓦；通过控制单接收所述温度和所述真空度，并基于所述温度控制所述激活单元及所述冷却单元的工作状态，基于所述真空度控制所述排气台真空单元及所述激活单元的工作状态，解决了现有激活过程中存在的需要工艺人员全程手动调整激活电流、时间、真空度及温度，使得激活工艺效率低、可靠性差，且无法对激活过程进行记录的问题，提高了吸气剂激活过程的自动化程度、激活效率及可靠性，同时能够记录激活过程的详细信息，便于对激活过程进行控制。
主权项：1.一种微杜瓦激活系统，其特征在于，包括：信号采集单元，用于采集微杜瓦内的芯片的温度及所述微杜瓦的真空度；排气台真空单元，用于为所述微杜瓦抽真空；激活单元，用于激活所述微杜瓦内的吸气剂；冷却单元，用于冷却所述微杜瓦；以及控制单元，与所述信号采集单元、所述激活单元及所述冷却单元相连，用于接收所述温度和所述真空度，并基于所述温度控制所述激活单元及所述冷却单元的工作状态，基于所述真空度控制所述排气台真空单元及所述激活单元的工作状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京智创芯源科技有限公司 一种微杜瓦激活系统及激活方法
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