龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要：本公开实施例提供了一种用于获得抛光晶圆的方法、系统及抛光晶圆，该方法包括：将原始晶圆的主表面的外周区域氧化以获得外周区域形成有氧化层的氧化晶圆，其中，外周区域为原始晶圆易于在化学机械抛光期间发生塌边的区域；以及对氧化晶圆执行化学机械抛光以获得抛光晶圆。本公开能够有效改善塌边现象，提升抛光晶圆边缘的平坦度和器件的整体性能。
主权项：1.一种用于获得抛光晶圆的方法，其特征在于，所述方法包括：将原始晶圆的主表面的外周区域氧化以获得所述外周区域形成有氧化层的氧化晶圆，其中，所述外周区域为所述原始晶圆易于在化学机械抛光期间发生塌边的区域；以及对所述氧化晶圆执行所述化学机械抛光以获得所述抛光晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 用于获得抛光晶圆的方法、系统及抛光晶圆
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号