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一种反应烧结碳化硅陶瓷造粒粉料的制备工艺 

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申请/专利权人:浙江芯科半导体有限公司

摘要:本发明涉及碳化硅陶瓷粉料制备技术领域,具体公开了一种反应烧结碳化硅陶瓷造粒粉料的制备工艺,包括以下步骤:步骤一:配置预混液:将初粘剂、陶瓷干压粘接剂、润滑剂、助压剂、分散剂溶解于去离子水中,搅拌,使预混液混合均匀;本发明,通过增加吸水性能和添加增加材料的作用,使得碳化硅陶瓷粉料在成型过程中,颗粒之间的摩擦力较小,增加了粉料之间的流动性,使碳化硅陶瓷粉料成型呈均匀的现象,降低了生产过程中的能源消耗,提升了生产效率;且在烧结过程中,增加了碳化硅陶瓷粉料在烧结过程中孔隙结构的均匀性,利于气体的扩散和物质的传输,从而减少了烧结温度和烧结时间,提升了碳化硅陶瓷的致密性和机械性能。

主权项:1.一种反应烧结碳化硅陶瓷造粒粉料的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:配置预混液:将初粘剂、陶瓷干压粘接剂、润滑剂、助压剂、分散剂溶解于去离子水中,搅拌,使预混液混合均匀,并添加增加碳化硅陶瓷造粒粉料吸水性能的添加剂;步骤二:混合球磨:将预混液、炭黑和石墨装入球磨罐中,初次球磨后,再加入碳化硅粉,再次球磨,得到一定固相分数的碳化硅陶瓷造粒粉料的稳定浆料,浆料研磨完成后,对研磨后的浆料添加增强材料;步骤三:真空除气:浆料在真空度为-0.09MPa下除气15±5min,排除浆料中的气泡;步骤四:将制备好的碳化硅陶瓷造粒粉料浆料压入喷雾造粒塔进行造粒,调整好造粒粒径,制得到流动性良好的造粒粉料。

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权利要求:

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