龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南亚科技股份有限公司
摘要：本揭露提供一种存储器元件包括基材、氧化物层以及间隔物。基材包括硅层、氮化物层以及隔离沟槽。氮化物层覆盖硅层。隔离沟槽贯穿氮化物层与硅层的部位。氧化物层填充隔离沟槽且具有表面与氮化物层的表面共平面。氧化物层环绕间隔物。氧化物层覆盖间隔物的顶面。可以使高度小型化的存储器元件具有较少的位元线漏电流问题。
主权项：1.一种存储器元件，其特征在于，包含：基材，包含：硅层；氮化物层，覆盖该硅层；以及多个隔离沟槽，贯穿该氮化物层与该硅层的部位；氧化物层，填充所述多个隔离沟槽且具有表面与该氮化物层的表面共平面；以及多个间隔物，由该氧化物层环绕，其中该氧化物层覆盖所述多个间隔物的多个顶面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南亚科技股份有限公司 存储器元件及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号