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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种用于化学机械抛光的承载头，包括外壳，所述外壳用于附接至驱动轴；薄膜组件，所述薄膜组件在外壳下方，其中介于外壳及薄膜组件之间的空间界定可加压腔室；以及传感器，所述传感器在外壳中，配置成测量从传感器至薄膜组件的距离。
主权项：1.一种用于化学机械抛光的承载头，包括：外壳，所述外壳用于附接至驱动轴；薄膜组件，所述薄膜组件在所述外壳下方并且相对于所述外壳能垂直移动，并且其中介于所述外壳与所述薄膜组件之间的空间界定能加压的第一腔室，其中所述薄膜组件包括薄膜支撑件和柔性薄膜，所述柔性薄膜紧固至所述薄膜支撑件并且悬挂于所述薄膜支撑件，其中介于所述外壳与所述薄膜支撑件之间的在所述薄膜支撑件上方的体积提供所述能加压的第一腔室，并且其中所述柔性薄膜界定在所述薄膜支撑件下方的能加压的第二腔室；以及传感器，所述传感器在所述外壳中，所述传感器配置成测量从所述传感器到所述薄膜组件的所述薄膜支撑件的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 具有薄膜位置控制的抛光头
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