买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司

摘要：本发明公开了一种纳米压印图像的检测方法，属于图像处理技术领域，包括以下步骤：S1、采集待检测基板的压印图像，并获取待检测基板对应的纳米压印模具的模板图像；S2、根据模板图像，确定压印图像的成形度；S3、根据压印图像的成形度，确定待检测基板是否合格。在本发明公开的纳米压印图像检测方法中，将纳米压印加工完成的压印图像与模具的模板图像（即标准图像）进行像素点的分析对比，确定反映压印图像压印标准程度的参数，即成形度；根据成形度与成形阈值的大小比较就可以确定待检测基板是否合格。本发明可以对纳米压印结果进行监测，提高纳米压印的合格率。

主权项：1.一种纳米压印图像的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、采集待检测基板的压印图像，并获取待检测基板对应的纳米压印模具的模板图像；S2、根据模板图像，确定压印图像的成形度；S3、根据压印图像的成形度，确定待检测基板是否合格；所述S2包括以下子步骤：S21、提取压印图像中每个像素点的海森矩阵；S22、根据压印图像中每个像素点的海森矩阵，确定压印图像的压印边缘形状；S23、提取模板图像的轮廓；S24、根据压印图像的压印边缘形状以及模板图像的轮廓，计算压印图像的成形度；所述S22包括以下子步骤：S221、为每个像素点生成像素偏置值；S222、将海森矩阵值从大到小排列，得到矩阵值序列；S223、根据矩阵值序列以及各个像素点的像素偏置值，生成各个像素点的边缘完整度；S224、根据各个像素点的边缘完整度，确定压印图像的压印边缘形状；所述S221中，像素点的像素偏置值b的计算公式为：；式中，K表示像素点的像素值，β表示极小的正数，K0表示所有像素点的像素值均值；所述S223中，像素点的边缘完整度w的计算公式为：；式中，X表示像素点的海森矩阵，Random[·]表示随机数函数，b表示像素点的像素偏置值，D表示矩阵值序列的中位数；所述S22中，确定压印图像的压印边缘形状的方法为：将边缘完整度从大到小排列，并将前个边缘完整度对应的像素点连接，作为压印图像的压印边缘形状；其中，J表示压印图像的像素点个数，表示向上取整运算；所述S24中，压印图像的成形度c的计算公式为：；式中，S1表示压印图像的压印边缘形状的最小外包圆的面积，S0表示模板图像的轮廓的最小外包圆的面积，σ表示压印图像的压印边缘形状以及模板图像的轮廓之间的哈希相似度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛天仁微纳科技有限责任公司 一种纳米压印图像的检测方法