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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本申请公开了一种多自由度精密隔振装置及精密光学元件检测系统，包括：多维载荷纳米云台和多维调谐质量阻尼器和底座，多维调谐质量阻尼器设置在底座上，多维载荷纳米云台设置在多维调谐质量阻尼器上，多维载荷纳米云台包括中心台面、支撑块以及框体结构，框体结构上设置有XY主动隔振模块，XY主动隔振模块通过XY平面解耦单元与中心台面连接，支撑块上设置有Z向主动隔振单元，支撑块顶部设置有加速度传感器，多维调谐质量阻尼器由中间的主负载质量块和外部一体式柔性铰链平台构成。本发明具有高定位精度的特点，能够实现三维隔振和多向载荷的处理，从而有效提高AFM在各种复杂工作环境下的稳定性和精度。
主权项：1.一种多自由度精密隔振装置，其特征在于，包括：多维载荷纳米云台和多维调谐质量阻尼器和底座；所述多维调谐质量阻尼器设置在所述底座上；所述多维载荷纳米云台设置在所述多维调谐质量阻尼器上；所述多维载荷纳米云台包括中心台面、设置在所述中心台面顶部的支撑块以及设置在所述中心台面外部的框体结构；所述框体结构上设置有XY主动隔振模块；所述XY主动隔振模块通过XY平面解耦单元与所述中心台面连接；所述支撑块上设置有Z向主动隔振单元；所述支撑块顶部设置有用于采集XYZ三向位移的加速度传感器；所述多维调谐质量阻尼器由中间的主负载质量块和外部一体式柔性铰链平台构成；所述XY主动隔振模块包括设置在所述框体结构内侧四周的四个XY主动隔振单元以及用于驱动所述XY主动隔振单元完成单自由度往复运动的压电陶瓷；所述外部一体式柔性铰链平台包括方框结构和第二板簧解耦铰链；所述方框结构包括四个支撑角、四个第二支撑板和八对第三板簧导向铰链；每相邻两个所述支撑角之间设置有一个所述第二支撑板；所述第二支撑板两端分别通过一对所述第三板簧导向铰链与其相邻的所述支撑角连接；所述第二支撑板与所述主负载质量块之间通过所述第二板簧解耦铰链连接；所述支撑角顶部开设有用于与被减振物体连接的第一安装孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种多自由度精密隔振装置及精密光学元件检测系统
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