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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：提供一种用于处理衬底的装置。在示例性实施例中，用于处理衬底的装置包括配置成具有上部敞开的处理空间的杯状体、配置成在处理空间中支撑衬底的支撑单元、配置成具有用于向由支撑单元支撑的衬底供应处理液的处理液供应喷嘴的液体供应单元、和位于处理空间的外部且具有供喷嘴在对处理空间中的衬底进行处理前后待机的待机空间且具有用于清洗位于待机空间中的喷嘴的清洗件的喷嘴待机埠，其中喷嘴待机埠包括设置成使得喷嘴的喷嘴尖端可插入的插入孔、和配置成向插入到插入孔中的喷嘴尖端喷洒清洗液的喷洒件，其中清洗液的撞击点与喷嘴尖端的中心间隔开预定距离。
主权项：1.一种用于处理衬底的装置，包括：杯状体，其配置成具有上部敞开的处理空间；支撑单元，其配置成在所述处理空间中支撑所述衬底；液体供应单元，其配置成具有用于向由所述支撑单元支撑的所述衬底供应处理液的处理液供应喷嘴；和喷嘴待机埠，其位于所述处理空间的外部，具有供所述处理液供应喷嘴在对所述处理空间中的衬底进行处理之前和之后待机的待机空间，并且具有用于清洗位于所述待机空间中的所述处理液供应喷嘴的清洗件，其中所述喷嘴待机埠包括：插入孔，其设置成使得所述处理液供应喷嘴的喷嘴尖端可插入；和喷洒件，其配置成向插入到所述插入孔中的所述喷嘴尖端喷洒清洗液，其中所述喷洒件包括：容器，其配置成接收和储存来自清洗液供应源的所述清洗液且设置成围绕所述插入孔的环状；和多个喷射孔，其形成在所述容器中，以在预定液位的清洗液供应到容器中时喷射所述清洗液，其中所述清洗液的撞击点与所述喷嘴尖端的中心间隔开预定距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 喷嘴待机埠、用于处理衬底的装置和用于清洗喷嘴的方法
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