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申请/专利权人：无锡翔域半导体有限公司

摘要：本发明涉及离子注入机技术，用于解决离子源固定机构拆卸耗费时间，固定结构易遗失，拆卸的连接线占用空间且易出现安装出错的问题，具体为一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板；本发明通过下滑动块在自身重力作用下，且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑，防止对连接线造成拉扯损伤，并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理，减小散乱的连接线占用空间的同时，便于工作人员对各段连接线的检查，通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动，传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作，使对离子源的拆卸时间得到缩短，且拆卸下的松紧螺栓受到卡位框架的限制不会发生遗失的情况。

主权项：1.一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板（1），所述旋转底板（1）外侧壁一侧安装有模块板一（2），所述旋转底板（1）外侧壁靠近所述模块板一（2）一侧安装有模块板二（3），所述旋转底板（1）外侧壁靠近所述模块板二（3）一侧安装有模块板三（4），其特征在于，所述旋转底板（1）外侧壁对应连接线位置处安装有滑动架（52），所述滑动架（52）外侧壁两侧安装有限位挡板（51），所述滑动架（52）外侧壁滑动连接有接头板（53），所述接头板（53）外侧壁安装有若干个均匀分布的连线接头（512），连接线外侧壁套设有若干个均匀分布的捆扎节（54），所述旋转底板（1）外侧壁靠近所述滑动架（52）一侧安装有调节板（57），所述调节板（57）外侧壁两侧开设有滑动槽（59），所述调节板（57）外侧壁对应所述滑动槽（59）一侧滑动连接有上滑动块（55），所述调节板（57）外侧壁对应所述滑动槽（59）另一侧滑动连接有下滑动块（511），所述上滑动块（55）和所述下滑动块（511）上表面转动连接有转动框（56），所述调节板（57）外侧壁中间位置处转动连接有同步插板（510）；所述同步插板（510）上表面中间位置处转动连接有复位齿轮（58），所述下滑动块（511）外侧壁套设有降速插杆（513），所述旋转底板（1）外侧壁对应所述降速插杆（513）位置处安装有降速箱，降速箱内部填充有非牛顿流体，所述旋转底板（1）外侧壁对应所述复位齿轮（58）位置处设置有调节机构一（81）。

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