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申请/专利权人：株式会社佐竹;有限公司机械变压器
摘要：本发明提供一种能够减轻阀芯相对于阀座面的按压力、气密性减弱而产生漏气的风险的压电致动器。该压电致动器用于利用层叠型压电元件的位移进行阀的开闭的压电式阀，且具有阀芯、将阀芯的动作所需的驱动力作为位移而产生的层叠型压电元件、以及将层叠型压电元件的位移放大并作用于阀芯的位移放大机构，在该压电致动器中，在对层叠型压电元件施加有加压载荷的状态下，与压电式阀的阀座抵接的阀芯的表面被平滑化。
主权项：1.一种压电致动器，其用于利用层叠型压电元件的位移进行阀的开闭的压电式阀，该压电致动器具有：阀芯；层叠型压电元件，其将上述阀芯的动作所需的驱动力作为位移而产生；以及位移放大机构，其将上述层叠型压电元件的位移放大并作用于上述阀芯，该压电致动器的特征在于，在对上述层叠型压电元件施加有加压载荷且上述阀芯的前表面变形成凹状的状态下，与压电式阀的阀座抵接的上述阀芯的表面通过研磨被平滑化，在上述层叠型压电元件向上述阀芯的方向施加有上述加压载荷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社佐竹 有限公司机械变压器 压电致动器、压电式阀以及压电致动器的制造方法
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