龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社西部技研
摘要：本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
主权项：1.一种气体置换用干燥房，其特征在于，设置连接了供给干燥空气及或非活性气体的配管的气密室，在低露点气体供给装置的后部连接非活性气体精制装置而形成一体型，在氧气去除·氮气精制运转时通过了所述低露点气体供给装置的气体通过所述非活性气体精制装置，所述低露点气体供给装置至少具有处理区域和再生区域，将通过了所述非活性气体精制装置的气体导入所述再生区域，将通过了所述再生区域的气体导入所述处理区域，在所述气密室中经由去除异物的过滤器而供给通过了所述处理区域的低露点气体，所述气体置换用干燥房具备使来自所述气密室的回气与通过了所述再生区域的气体混合并向所述处理区域进行再循环的管路。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号