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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明提出了一种等离子体温度密度光学测试校准装置及校准方法，属于航天等离子体光学测试校准领域，包括校准装置包括光谱仪、光学探头和ECR等离子体源，ECR等离子体源包括微波源、微波传输系统、微波反应腔和等离子体负载，微波传输系统包括三销钉调配器和三端环形器，三端环形器的一端与微波源相连，另一端与三销钉调配器相连，三端环形器侧面与等离子体负载相连，三销钉调配器与等离子体放电室相连，等离子体放电室上设置有进气口，等离子体放电室与第一真空罐连接，光学探头设置在第一真空罐或第二真空罐内，光学探头与光谱仪相连；本发明的等离子体温度密度光学测试校准解决了等离子体温度密度难以测量校准的问题。
主权项：1.一种等离子体温度密度光学测试校准装置，其特征在于：所述校准装置包括光谱仪校准模块和推进器校准模块；所述光谱仪校准模块用于对光谱仪（10）测量等离子体温度与密度的溯源校准；光谱仪校准模块包括光谱仪（10）、ECR等离子体源供气单元（11）、光学探头（12）、ECR等离子体源（13）和第一真空罐（14）；所述ECR等离子体源（13）包括微波源（5）、微波传输系统、微波反应腔和等离子体负载；所述推进器校准模块用于对推进器（9）等离子体温度密度测量进行溯源校准，推进器校准模块包括推进器供电单元（7），推进器供气单元（8），推进器（9），光谱仪（10）和第二真空罐（15）；所述光学探头（12）能够设置在第一真空罐（14）或第二真空罐（15）内，所述光学探头（12）与光谱仪（10）相连。
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