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申请/专利权人：池州首开新材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于硅片制造的边缘抛光装置，涉及硅片加工技术领域，包括工作台、支撑柱、放置板、电机、打磨轮、伸缩支架、固定装置、硅片以及吸尘器，所述工作台底部四角固定连接支撑柱，所述支撑柱侧部连接放置板，所述放置板连接电机，所述电机输出端连接打磨轮，所述工作台顶面固定连接伸缩支架，所述伸缩支架顶部固定连接固定装置，所述固定装置夹持固定硅片，所述工作台两侧顶部设有吸尘器，所述吸尘器连接吸尘管一端，所述吸尘管另一端连接吸尘块，所述吸尘块分布在固定装置两侧，本实用新型，能够对抛光产生的粉末进行吸收，进而能够避免对环境造成污染，同时避免损害到操作者的身体健康。
主权项：1.一种用于硅片制造的边缘抛光装置，包括工作台1、支撑柱2、放置板3、电机4、打磨轮5、伸缩支架6、固定装置7、硅片8以及吸尘器9，所述工作台1底部四角固定连接支撑柱2，所述支撑柱2侧部连接放置板3，所述放置板3连接电机4，所述电机4输出端连接打磨轮5，所述工作台1顶面固定连接伸缩支架6，所述伸缩支架6顶部固定连接固定装置7，所述固定装置7夹持固定硅片8，所述工作台1两侧顶部设有吸尘器9，其特征在于：所述吸尘器9连接吸尘管10一端，所述吸尘管10另一端连接吸尘块11，所述吸尘块11分布在固定装置7两侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 池州首开新材料有限公司 一种用于硅片制造的边缘抛光装置
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