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显影装置 

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申请/专利权人:台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:显影装置包括显影腔体、晶圆夹持器、冲洗臂、冲洗喷嘴、夹具、遮光元件以及第一感测器。晶圆夹持器位于显影腔体内。冲洗臂邻近于晶圆夹持器,中冲洗臂配置以基于一垂直轴旋转。冲洗喷嘴安装在冲洗臂上。夹具位于冲洗臂下方并围绕垂直轴,其中夹具上具有沟槽,沟槽围绕垂直轴。遮光元件安装在冲洗臂上,且自冲洗臂向下朝向夹具的沟槽延伸,其中当冲洗臂处于旋转运动时,遮光元件延伸至沟槽中。第一感测器安装在夹具的沟槽的侧壁上,且位于沟槽的第一侧,其中第一感测器配置以侦测遮光元件。

主权项:1.一种显影装置,其特征在于,包括:一显影腔体;一晶圆夹持器,位于该显影腔体内;一冲洗臂,邻近于该晶圆夹持器,其中该冲洗臂配置以基于一垂直轴旋转;一冲洗喷嘴,安装在该冲洗臂上;一夹具,位于该冲洗臂下方并围绕该垂直轴,其中该夹具上具有一沟槽,该沟槽围绕该垂直轴;一遮光元件,安装在该冲洗臂上,且自该冲洗臂向下朝向该夹具的该沟槽延伸,其中当该冲洗臂处于一旋转运动时,该遮光元件延伸至该沟槽中;以及一第一感测器,安装在该夹具的该沟槽的一侧壁上,且位于该沟槽的一第一侧,其中该第一感测器配置以侦测该遮光元件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台积电(中国)有限公司 台湾积体电路制造股份有限公司 显影装置

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