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一种硅片激光切割机 

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申请/专利权人:张家港固邦机电科技有限公司

摘要:本申请公开了一种硅片激光切割机,包括:机架框,在机架框的上表面设置有安装台,在安装台的上表面中心设置有废料斗,在机架框内设置有废料箱,在安装台的上表面设置有取放支架,在取放支架的前后两侧分别设置有结构相同的第一取片装置和第二取片装置,在安装台的上表面固定设置有激光切割机构,在安装台的上表面固定设置有清理组件,在安装台的上表面分别固定设置有结构相同的第一切割组件和第二切割组件,在安装台的上表面固定设置有整形机构,在安装台的上表面固定设置有上料机构,在安装台的上表面固定设置有两个结构相同的存料机构。本实用新型能够多工位对硅片进行切割加工,并且在切割的过程中能够保持精度,提高切割效率。

主权项:1.一种硅片激光切割机,包括机架框,在机架框的上表面设置有安装台,其特征在于:在安装台的上表面中心设置有废料斗,位于废料斗的正下方在机架框内设置有废料箱,在安装台的上表面设置有取放支架,在取放支架的前后两侧分别设置有结构相同的第一取片装置和第二取片装置,位于取放支架的正下方在安装台的上表面固定设置有激光切割机构,位于激光切割机构的一侧在安装台的上表面固定设置有清理组件,能够利用清理组件对切割后的硅片表面进行清理,位于废料斗的左右两侧在安装台的上表面分别固定设置有结构相同的第一切割组件和第二切割组件,位于第一切割组件和第二切割组件的中间在安装台的上表面固定设置有整形机构,能够利用整形机构对硅片进行位置调整,位于第二切割组件的一侧在安装台的上表面固定设置有上料机构,能够利用上料机构对未加工的硅片进行待存,在安装台的上表面固定设置有两个结构相同的存料机构,两个存料机构分别位于第一切割组件和第二切割组件的一侧,能够利用存料机构对加工完成的硅片进行存放;第二切割组件包括:第二直线电机,第二直线电机固定安装在安装台的表面,第二直线电机的有效行程大于取放支架的宽度,在第二直线电机上滑动设置有滑块,在滑块的上表面固定安装有切割连接板,在切割连接板的朝向废料斗上方的一端上表面固定设置有中空旋转平台,中空旋转平台处于废料斗的开口范围内,在中空旋转平台的旋转盘表面固定设置有连接台,在连接台的中心处设置有圆形通孔,在中空旋转平台的内部同心设置有连接管,连接管与连接台的圆形通孔连通固定,在连接台的上表面固定设置有吸附台,在吸附台的下表面设置有方形凹槽,在吸附台的表面均匀设置有若干个穿透方形凹槽的透气孔,在第二直线电机的外周套设有切割罩壳。

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权利要求:

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