龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市汇投智控科技有限公司
摘要：本申请涉及一种气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法，包括：衬底、支撑层、图案化加热层、隔离层、功能层、凹槽以及多个条状通孔；其中，支撑层位于衬底的第一表面；图案化加热层位于支撑层的顶面，暴露出部分支撑层，用于加热气体传感器；隔离层至少覆盖图案化加热层；功能层位于隔离层的顶面；凹槽位于衬底的第二表面内，暴露出部分支撑层的底面；其中，第一表面与第二表面沿垂直于衬底的厚度方向相对设置；多个条状通孔沿垂直于衬底的第一表面的方向依次贯穿隔离层和支撑层，并与凹槽连通；其中，多个条状通孔的延伸方向朝向凹槽的中心线，或与朝向凹槽的中心线的方向垂直，从而缓解各个方向的应力，进一步缓解各膜层的形变。
主权项：1.一种气体传感器，其特征在于，包括：衬底；支撑层，位于所述衬底的第一表面；图案化加热层，位于所述支撑层的顶面，暴露出部分所述支撑层，用于加热所述气体传感器；隔离层，至少覆盖所述图案化加热层；功能层，位于所述隔离层的顶面；凹槽，位于所述衬底的第二表面内，暴露出部分所述支撑层的底面；其中，所述第一表面与所述第二表面沿垂直于所述衬底的厚度方向相对设置；多个条状通孔，沿垂直于所述衬底的第一表面的方向依次贯穿所述隔离层和所述支撑层，并与所述凹槽连通；其中，所述多个条状通孔的延伸方向朝向所述凹槽的中心线，或与朝向所述凹槽的中心线的方向垂直；其中，所述图案化加热层、所述功能层、所述多个条状通孔于所述第一表面的正投影分别位于所述凹槽于所述第一表面的正投影内，且所述多个条状通孔分别与所述图案化加热层、所述功能层间隔设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市汇投智控科技有限公司 气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号