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申请/专利权人：上海新傲芯翼科技有限公司
摘要：本发明提供了一种键合晶圆的制备方法，包括：提供器件晶圆和支撑晶圆，其中器件晶圆的氧含量为3×1017atomscm3～5×1017atomscm3；对器件晶圆和或支撑晶圆执行氧化工艺，以在器件晶圆和或支撑晶圆的表面形成氧化层；将器件晶圆和支撑晶圆进行键合形成键合晶圆；对键合晶圆执行热加固工艺。本发明能够抑制间隙氧在热加固过程中形核长大形成缺陷，从而减轻在键合晶圆中形成缺陷。
主权项：1.一种键合晶圆的制备方法，其特征在于，包括：提供器件晶圆和支撑晶圆，其中所述器件晶圆的氧含量为3×1017atomscm3～5×1017atomscm3；对所述器件晶圆和或所述支撑晶圆执行氧化工艺，以在所述器件晶圆和或所述支撑晶圆的表面形成氧化层；将所述器件晶圆和所述支撑晶圆进行键合形成键合晶圆；对所述键合晶圆执行热加固工艺。
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百度查询： 上海新傲芯翼科技有限公司 键合晶圆的制备方法
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