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申请/专利权人:三星显示有限公司
摘要:提供了发光元件、其制造方法和包括该发光元件的显示装置。制造该发光元件的方法包括:准备下基底,下基底包括基底和形成在基底的表面上的缓冲半导体层;形成设置在下基底上的分离层,在分离层上形成第一导电型半导体层、活性材料层和第二导电型半导体层,并且沿与基底的表面垂直的第一方向蚀刻第一导电型半导体层、活性材料层、第二导电型半导体层和分离层,以形成元件棒;形成沿着与第一方向垂直的第二方向围绕元件棒的外表面的第一绝缘层;形成沿着第二方向围绕第一绝缘层的外表面的第二绝缘层;以及将元件棒与下基底分离,以形成发光元件。
主权项:1.一种发光元件的制造方法,所述制造方法包括:准备下基底,所述下基底包括基底和形成在所述基底的表面上的缓冲半导体层;通过形成设置在所述下基底上的分离层、在所述分离层上形成第一导电型半导体层、活性材料层和第二导电型半导体层并且沿与所述基底的所述表面垂直的第一方向蚀刻所述第一导电型半导体层、所述活性材料层、所述第二导电型半导体层和所述分离层来形成元件棒;形成沿着与所述第一方向垂直的第二方向围绕所述元件棒的外表面的第一绝缘层;形成沿着所述第二方向围绕所述第一绝缘层的外表面的第二绝缘层;以及将所述元件棒与所述下基底分离,以形成所述发光元件,其中,在所述发光元件中,所述元件棒通过去除所述分离层而分离处的分离表面具有在8nmRa至12nmRa的范围内的表面粗糙度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星显示有限公司 发光元件、其制造方法以及包括发光元件的显示装置
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