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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种极紫外光产生方法及装置，本发明的极紫外光产生方法包括以下步骤：向放电腔室通入预设流量比例的氦气和工作稀有气体组成的混合气体；向放电腔室内通入第一能量脉冲使氦气及工作稀有气体电离为低价态离子并形成初始等离子体；向放电腔室内通入第二能量脉冲，使初始等离子体中氦气完全电离，工作稀有气体的低价态离子电离为高价态离子并形成等离子体回路，在回路中电流产生磁场下被箍缩产生极紫外光。较小幅度的减小等离子体箍缩过程中的平均电子温度，因而提高了箍缩过程中的电子密度，提高了等离子体的输出效率。
主权项：1.一种极紫外光产生方法，其特征在于：包括以下步骤：向放电腔室通入预设流量比例的氦气和工作稀有气体组成的混合气体；向放电腔室内通入第一能量脉冲使氦气及工作稀有气体电离为低价态离子并形成初始等离子体；向放电腔室内通入第二能量脉冲，使初始等离子体中氦气完全电离，工作稀有气体的低价态离子电离为高价态离子并形成等离子体回路，在回路中电流产生磁场下被箍缩产生极紫外光。
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百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种极紫外光产生方法及装置
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