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一种正交弱耦合柔性压电驱动平台 

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申请/专利权人:广州大学

摘要:本申请公开了一种正交弱耦合柔性压电驱动平台。该压电驱动平台包括基板、解耦机构、运动平台、导向机构、压电驱动机构;运动平台设置在基板的中部,运动平台的四周设置有四个导向机构,四个导向机构沿x轴方向和y轴方向对称设置;导向机构远离运动平台的一端设置解耦机构,解耦机构在与位移传递方向垂直方向的两端与基板固定连接,解耦机构远离导向机构的一端与压电驱动机构的放大输出块连接;压电驱动机构包括压电叠堆致动器和复合位移放大机构,其中复合位移放大机构包括第一位移放大单元和第二位移放大单元。可以有效降低输出位移的耦合现象和提高固有频率,进而使压电驱动平台具有更加精准的运动精度。

主权项:1.一种正交弱耦合柔性压电驱动平台,其特征在于,所述压电驱动平台包括:基板、解耦机构、运动平台、导向机构、压电驱动机构;所述运动平台设置在所述基板的中部,运动平台的四周设置有四个导向机构,其中两个导向机构沿运动平台的x轴方向对称设置,两个导向机构沿运动平台的y轴方向对称设置;所述四个导向机构远离运动平台的一端分别连接一个解耦机构,所述解耦机构远离所述导向机构的一端分别与一个压电驱动机构的放大输出块连接;其中沿x轴方向设置的解耦机构的y轴方向的两端与基板固定连接,沿y轴方向设置的解耦机构的x轴方向的两端与基板固定连接;所述解耦机构用于隔离正交方向的扰动,稳定同一轴向的压电驱动机构在一个自由度上运动;所述压电驱动机构包括压电叠堆致动器、复合位移放大机构和放大输出块,其中所述复合位移放大机构包括第一位移放大单元和第二位移放大单元;所述压电叠堆致动器的输出端和第一位移放大单元的输入端连接,所述第一位移放大单元的输出端和所述第二位移放大单元的输入端连接,所述第二位移放大单元的输出端和放大输出块连接。

全文数据:

权利要求:

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