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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种紫外光源组件和紫外光固化设备，涉及半导体工艺技术领域，通过在二次反射经背向灯管的一侧设置额外的均光透镜，根据照度分布数据可以通过均光透镜具有的多个凸镜部和多个凹镜部来对紫外光进行聚拢和扩散后，再照射至晶圆，从而使得以往照度较大的区域经过凹镜部扩散光线以减小照度，照度较大的区域经过凸镜部聚拢光线以增大照度，以此达到均光效果，相对于现有技术中而言只需要单独加一块均光透镜即可，结构更为简单，成本较低且更换维护方便。
主权项：1.一种紫外光源组件，用于晶圆固化，其特征在于，包括：沿着第一方向依次设置的一次反射镜20、两根灯管10、二次反射镜30和均光透镜40；两根所述灯管10沿着第二方向平行布置，每根所述灯管10沿着第三方向延伸，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直；其中，所述均光透镜40的厚度方向沿所述第一方向，所述均光透镜40具有多个凸镜部41和多个凹镜部42。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 紫外光源组件和紫外光固化设备
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