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申请/专利权人：上海新傲芯翼科技有限公司
摘要：本发明提供了一种键合片的加固方法，包括：提供键合片，键合片包括衬底层、顶层硅层和绝缘埋氧层；对键合片执行第一热加固工艺；对顶层硅层边缘的未键合区域执行边缘倒角研磨工艺；对键合片执行第二热加固工艺，第二热加固工艺的温度大于第一热加固工艺的温度。本发明实现减少键合片中滑移线的产生，提高键合片的产品良率。
主权项：1.一种键合片的加固方法，其特征在于，包括:提供键合片，所述键合片包括衬底层、顶层硅层和绝缘埋氧层；对所述键合片执行第一热加固工艺；对所述顶层硅层边缘的未键合区域执行边缘倒角研磨工艺；对所述键合片执行第二热加固工艺，所述第二热加固工艺的温度大于所述第一热加固工艺的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新傲芯翼科技有限公司 键合片的加固方法
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