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申请/专利权人：珠海嘉钡电子有限公司
摘要：本发明的一种集成电路板蚀刻机，包括蚀刻腔、基板电极、感应电极、气体注入管和自检机构，自检机构包括第一电动滑台、连杆、模拟基板、穿透板、磁性板、屏蔽块、第二电动滑台、电动推杆、穿行杆、卡接机构、主控单元和激光雷达，将模拟基板移动到基板电极上，而后第二电动滑台和电动推杆带动穿行杆伸入到屏蔽块的十字型槽中，卡接机构使穿行杆卡接，在控制对应的磁性板断电后，可以切断屏蔽块之间的连接，而后穿行杆可以带动屏蔽块移动，并在穿透板上形成凹槽，当进行等离子蚀刻时，等离子体可以从凹槽处穿过穿透板对模拟基板进行蚀刻，通过检测穿透板上的蚀刻槽的数据可以完成蚀刻机的自检，避免蚀刻机出现故障导致集成电路板的蚀刻出现偏差。
主权项：1.一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，包括蚀刻腔、基板电极、感应电极、气体注入管以及自检机构，所述基板电极设置在蚀刻腔内底面，所述感应电极以及气体注入管设置在蚀刻腔的顶面；所述自检机构包括第一电动滑台、连杆、模拟基板、穿透板、磁性板、屏蔽块、第二电动滑台、电动推杆、穿行杆、卡接机构、主控单元以及激光雷达，所述第一电动滑台相对嵌入在蚀刻腔内侧壁，所述穿透板位于第一电动滑台之间，所述连杆一端与第一电动滑台的动子侧壁连接，另一端与穿透板侧壁连接，所述模拟基板设置在穿透板底面，所述磁性板阵列式设置在穿透板顶面，并对模拟基板顶面进行覆盖，所述屏蔽块设置在磁性板上，其内设置有十字型槽，所述磁性板内侧壁四个朝向均设置有电磁铁，所述十字型槽延伸到屏蔽块的侧壁，所述第二电动滑台设置在穿透板顶面，并位于屏蔽块外侧，所述电动推杆设置在第二电动滑台的动子顶面，其输出轴与穿行杆连接，所述十字型槽位于穿行杆的移动路径一侧，所述穿行杆插入到十字型槽中通过卡接机构进行卡接，所述激光雷达设置在连杆底面，并朝向模拟基板；所述主控单元设置在蚀刻腔内侧壁，并分别与第一电动滑台、磁性板、第二电动滑台、电动推杆、卡接机构以及激光雷达数据连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海嘉钡电子有限公司 一种集成电路板蚀刻机
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